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碳/碳复合材料相比于石墨产品的优势-2
发布时间：
2022-04-28
用做拉单晶硅的坩埚时，由于石英坩埚对石墨坩埚产生较大的膨胀应力作用，石墨坩埚需要做成三瓣，或在坩埚上开热膨胀槽；而使用碳/碳复合材料的加热炉内产品由于不需要开热膨胀槽，可以做成一个整体，并且在石英坩埚内可以获得均匀的热场，提高了成品率，而且可以避免漏硅事故造成的损失。
用做拉单晶硅的坩埚时，由于石英坩埚对石墨坩埚产生较大的膨胀应力作用，石墨坩埚需要做成三瓣，或在坩埚上开热膨胀槽；而使用碳/碳复合材料的加热炉内产品由于不需要开热膨胀槽，可以做成一个整体，并且在石英坩埚内可以获得均匀的热场，提高了成品率，而且可以避免漏硅事故造成的损失。
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